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                        半導體設備真空腔高精度測溫系統

                        更新時間:2024-05-26

                        簡要描述:

                        半導體設備真空腔高精度測溫系統Vac.TEMP TS
                        1、精密測溫NTC傳感器;
                        2、真空貫通法蘭;
                        3、精密多通道測溫儀;
                        4、溫度采集分析軟件DAQ TEMP。

                        型號:Vac.TEMP TS點擊量:173

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                        半導體設備真空腔高精度測溫系統Vac.TEMP TS

                        1、精密測溫NTC傳感器;

                        2、真空貫通法蘭;

                        3、精密多通道測溫儀;

                        4、溫度采集分析軟件DAQ TEMP。

                        半導體設備真空腔高精度測溫系統精密NTC測溫傳感器技術規范


                        名稱

                        指標

                        標稱電阻

                        10000Ω@25℃

                        絕對精度

                        ≤10、5、1mK

                        重復精度

                        ≤1mK@30min、1Hz

                        年漂移量

                        <10、5、1mK

                        線制

                        4線

                        探頭封裝

                        316L圓柱封裝或定,內部填充不留氣,不漏氣

                        引線材質

                        PTFE(真空)

                        響應時間

                        ≤1s

                        探頭尺寸

                        ≤φ2.0*10mm

                        連接器 

                        DB

                        真空饋通

                        法蘭

                        引線端子

                        智能航插

                        校準

                        提供校準報告


                        溫度采集儀618A/NTC技術規范


                        名稱

                        指標

                        溫度校準范圍

                        16-70℃

                        測量模塊絕對精度

                        ≤10、5、1mK@1Hz/通道

                        測量模塊年漂移

                        ≤10、5、1mK

                        測量通道數量

                        4、8、16、32、120個可選

                        采樣頻率

                        可調,最大≥10Hz/通道

                        激勵電流

                        ≤10uA

                        運行/故障指示燈

                        單通道獨立控制

                        輸入

                        4線制NTC

                        通訊接口

                        LAN/RS485/USB

                        通訊協議

                        Modbus RTU

                        數據格式

                        機器時間-對應通道的溫度值

                        設備記錄時間功能

                        有內部時鐘,采集頻率<1Hz時,時間差≤0.1s

                        測溫探頭接口

                        航空插頭

                        軟件

                        配套DAQ數據采集軟件

                        供電電源

                        AC220V適配器


                        留言框

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