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                        晶圓有線測溫系統

                        更新時間:2024-05-26

                        簡要描述:

                        TC Wafer 晶圓有線測溫系統
                        儀表化晶圓(熱電偶或RTD)適用于半導體加工設備,在這些設備中,了解和控制晶圓表面的溫度至關重要。

                        TC Wafer晶圓有線測溫系統用于許多行業,包括快速熱處理 (RTP)、快速熱退火 (RTA)、曝光后烘烤 (PEB)、化學氣相沉積 (CVD)、物理氣相沉積 (PVD)、離子注入、太陽能電池和許多其他熱驅動工藝等應用。

                        型號:TC Wafer點擊量:126

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                        TC Wafer 晶圓有線測溫系統

                        儀表化晶圓(熱電偶或RTD)適用于半導體加工設備,在這些設備中,了解和控制晶圓表面的溫度至關重要。


                        TC Wafer晶圓有線測溫系統用于許多行業,包括快速熱處理 (RTP)、快速熱退火 (RTA)、曝光后烘烤 (PEB)、化學氣相沉積 (CVD)、物理氣相沉積 (PVD)、離子注入、太陽能電池和許多其他熱驅動工藝等應用。

                        技術指標:


                        名稱

                        12路微型插座測溫模塊

                        17x4路DB快接測溫模塊

                        型號

                        618A / TC / MPJ*12

                        618A / TC / DB17

                        測溫探頭類型

                        K型熱電偶

                        T型熱電偶

                        K型熱電偶

                        T型熱電偶

                        溫度測量范圍

                        -270~1372℃

                        -270~400℃

                        -270~1372℃

                        -270~400℃

                        測量精度

                        ±1.1℃±0.1%讀數

                        ±0.6℃±0.1%讀數

                        ±1.1℃±0.1%讀數

                        ±0.5℃±0.1%讀數

                        測量分辨率

                        ≤0.01

                        ≤0.01

                        測量通道數量

                        12個

                        17*1、17*2、17*3、17*4(可選擇、可擴展)

                        采樣頻率

                        ≥1Hz/每通道

                        ≥1Hz/每通道

                        運行/故障指示燈

                        測溫探頭接口

                        MPJ微型熱電偶插座

                        DB37(17CH)

                        網口

                        RJ45

                        RJ45

                        USB端口

                        USB Type-B

                        USB Type-B

                        RS485端口

                        接線端子

                        接線端子

                        藍牙

                        Bluetooth5.0

                        Bluetooth5.0

                        通訊協議

                        Modbus

                        Modbus

                        應用軟件

                        DAQ數據采集軟件,數據采集、記錄、統計分析

                        DAQ數據采集軟件,數據采集、記錄、統計分析

                        功率

                        ≤3W

                        ≤3W

                        供電電源

                        AC220V/DC24V(可選擇)

                        AC220V/DC24V(可選擇)

                        電源接口

                        AC電源插座/DC3*7.62mm接線端子

                        AC電源插座/DC3*7.62mm接線端子

                        安裝方式

                        可選35mm標準導軌安裝

                        可選35mm標準導軌安裝

                        模塊參考尺寸

                        188*160*56(L*W*H)

                        188*160*56(L*W*H)


                        晶圓有線測溫系統測溫范圍:-50℃至1200℃

                        熱電偶類型:K型

                        精度:±0.5℃±0.1%讀數

                        線徑:0.127、0.254mm

                        測溫點數:1~68個

                        傳感器引線:可定制

                        工藝:焊接設計

                        絕緣材料:石英、Teflon、二氧化硅、陶瓷、PA

                        測溫探頭接口:DB37、微型插座

                        晶圓材質:硅片,藍寶石,碳化硅等(基材形狀和尺寸可定制)

                        晶圓尺寸:50mm,100mm,150mm,200mm,300mm

                        真空貫通帶:聚酰亞胺扁平電纜,大氣壓可達10-7Torr(長度由客戶定)



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